质谱仪又称质谱计仪器。能使被测物质粒子离化成离子并通过电磁场将离子按时间顺序、空间位置或轨道稳定与否实现质荷离和强度检测的仪器。种类繁多，按质量分析器不同分为两大类：①静态仪器，利用稳定或变化慢的电、磁场，包括单聚焦型、双聚焦型和无聚焦型；②动态仪器，采用纯高频电场，包括磁式动态型（同步、螺旋轨迹、回旋和电磁场脉冲等）和无磁动态型（飞行时间、射频、静电和四极等）。无论何种类型，其原理和结构大同小异，通常由进样系统、离子源、质量分析器和离子检测系统组成。图示为离子光学原理装置，被分析的气态样品由进样系统进入离化室经离子源离化成离子束，在真空（133×10-5pa)中使离子束经窄缝S进入一曲形电场E中，调节电场电压使离子束随着电场形状弯曲进人半圆形磁场，离子束受磁场力作用发生质量分离后聚焦在不同点上，用感光板PM或离子收集器记录得到质谱，实现对物质组分、含量和分布的测定。